Статья "Микросхемам готовят отечественную печать"
Наименование статьи | Микросхемам готовят отечественную печать |
---|---|
Страницы | 36 |
Аннотация | Ключевой технологией, обеспечивающей возможность изготовления и развития микроэлектроники, является фотолитография. Две зеленоградские организации по заказу Минпромторга занялись разработкой фотолитографов (степперов) для реализации разных проектных норм — от 130 до 28 нм и менее. |
Журнал | Эксперт |
Номер выпуска | 12 |
Автор(ы) | Механик А. |