Статья "Микросхемам готовят отечественную печать"

Наименование статьиМикросхемам готовят отечественную печать
Страницы36
АннотацияКлючевой технологией, обеспечивающей возможность изготовления и развития микроэлектроники, является фотолитография. Две зеленоградские организации по заказу Минпромторга занялись разработкой фотолитографов (степперов) для реализации разных проектных норм — от 130 до 28 нм и менее.
ЖурналЭксперт
Номер выпуска12
Автор(ы)Механик А.