| Аннотация | В современной полупроводниковой электронике всё шире используются нанотехнологии, которые обладают атомной точностью при получении полупроводниковых наноструктур с необходимым химическим составом и конфигурацией, оснащены методами комплексной диагностики наноструктур, в том числе и в процессе изготовления, что позволяет управлять технологическими процессами. Возможности нанотехнологии в решении основных задач полупроводниковой электроники рассматривались на одном из заседаний Президиума РАН, материалы которого положены в основу публикуемой ниже статьи. |
|---|