Статья "Коротковолновая проекционная нанолитография"
| Наименование статьи | Коротковолновая проекционная нанолитография |
|---|---|
| Страницы | 450 |
| Аннотация | На одном из заседаний Президиума РАН рассматривались проводимые в Институте физики микроструктур РАН работы по нанолитографии в ультракороткой области спектра, которым и посвящена публикуемая ниже статья. Результаты этих работ, по мнению участников заседания, можно реально использовать для возрождения отечественной микроэлектронной промышленности. |
| Журнал | Вестник РАН |
| Номер выпуска | 5 |
| Автор(ы) | Салащенко Н. Н., Чхало Н. И. |