Статья "Коротковолновая проекционная нанолитография"

Наименование статьиКоротковолновая проекционная нанолитография
Страницы450
АннотацияНа одном из заседаний Президиума РАН рассматривались проводимые в Институте физики микроструктур РАН работы по нанолитографии в ультракороткой области спектра, которым и посвящена публикуемая ниже статья. Результаты этих работ, по мнению участников заседания, можно реально использовать для возрождения отечественной микроэлектронной промышленности.
ЖурналВестник РАН
Номер выпуска5
Автор(ы)Салащенко Н. Н., Чхало Н. И.