Статья "Коротковолновая проекционная нанолитография"
Наименование статьи | Коротковолновая проекционная нанолитография |
---|---|
Страницы | 450 |
Аннотация | На одном из заседаний Президиума РАН рассматривались проводимые в Институте физики микроструктур РАН работы по нанолитографии в ультракороткой области спектра, которым и посвящена публикуемая ниже статья. Результаты этих работ, по мнению участников заседания, можно реально использовать для возрождения отечественной микроэлектронной промышленности. |
Журнал | Вестник РАН |
Номер выпуска | 5 |
Автор(ы) | Салащенко Н. Н., Чхало Н. И. |