| Наименование статьи | Пути достижения технологической независимости в области материалов для микроэлектроники |
|---|
| Страницы | 917 |
|---|
| Аннотация | Укрепление технологического суверенитета – одна из ключевых задач в достижении национальных целей развития Российской Федерации на период до 2030 г. В этой связи чрезвычайную актуальность приобретает разработка и налаживание производства в возможно короткие сроки отечественных материалов широкой номенклатуры, в том числе особо чистых, для нужд микроэлектронной промышленности. Авторами представлены основные проблемы и пути развития производства таких веществ и материалов. Статья подготовлена на основе доклада на заседании президиума РАН, посвящённого роли химии и наук о материалах в обеспечении технологического суверенитета России. |
|---|
| Ключевые слова | материалы для микроэлектроники, высокочистые материалы, интегральные схемы, фотолитография, фоторезисты, антиотражающие покрытия, суспензии, поверхностно-активные вещества, проявители |
|---|
| Журнал | Вестник РАН |
|---|
| Номер выпуска | 10 |
|---|
| Автор(ы) | Бадамшина Э. Р., Горнев Е. С. |
|---|