Статья "Технология MEMS"
| Наименование статьи | Технология MEMS |
|---|---|
| Страницы | 26 |
| Аннотация | Компоненты, созданные по этой технологии, отличаются пониженным энергопотреблением и сверхкомпактностью и могут выполнять самые разные вычислительные и коммуникационные функции. |
| Журнал | BYTE/Россия |
| Номер выпуска | 1 |
| Автор(ы) | Борзенко А. |