Статья "Полная автоматизация кремниевого производства"
| Наименование статьи | Полная автоматизация кремниевого производства |
|---|---|
| Страницы | 50 |
| Аннотация | Одним из аспектов развертывающегося производства и обработки кремниевых пластин диаметром 300 мм становится создание специальных инженерных систем, способных исполнять функции наблюдения и контроля всей технологической цепочки. |
| Журнал | Открытые системы СУБД |
| Номер выпуска | 12 |
| Автор(ы) | Мурин Д. |