Статья "Полная автоматизация кремниевого производства"
Наименование статьи | Полная автоматизация кремниевого производства |
---|---|
Страницы | 50 |
Аннотация | Одним из аспектов развертывающегося производства и обработки кремниевых пластин диаметром 300 мм становится создание специальных инженерных систем, способных исполнять функции наблюдения и контроля всей технологической цепочки. |
Журнал | Открытые системы СУБД |
Номер выпуска | 12 |
Автор(ы) | Мурин Д. |