Статья "Полная автоматизация кремниевого производства"

Наименование статьиПолная автоматизация кремниевого производства
Страницы50
АннотацияОдним из аспектов развертывающегося производства и обработки кремниевых пластин диаметром 300 мм становится создание специальных инженерных систем, способных исполнять функции наблюдения и контроля всей технологической цепочки.
ЖурналОткрытые системы СУБД
Номер выпуска12
Автор(ы)Мурин Д.